電導(dǎo)率σi和電子導(dǎo)電的電導(dǎo)率σe之比σi/σe≥0.01。
具有至少一層其至少部分所述導(dǎo)電性由離子導(dǎo)電性聚合物的組合物賦予的導(dǎo)電層的導(dǎo)電輥包括整個(gè)導(dǎo)電輥都由離子導(dǎo)電性聚合物賦予導(dǎo)電性的導(dǎo)電性橡膠組合物構(gòu)成的導(dǎo)電輥以及由不同組成的多層構(gòu)成的導(dǎo)電輥,而由不同組成的多層構(gòu)成的導(dǎo)電輥中的至少一層由至少部分導(dǎo)電性由離子導(dǎo)電性聚合物的組合物賦予的導(dǎo)電性橡膠組合物構(gòu)成,其他層則由離子導(dǎo)電性聚合物賦予導(dǎo)電性的導(dǎo)電層以外的橡膠等構(gòu)成。以含有氯原子的表橡膠為代表的橡膠組分,用于導(dǎo)電橡膠輥,以允許導(dǎo)電橡膠輥呈離子導(dǎo)電性。
但是靶材制作困難,這是因?yàn)檠趸煵蝗菀谉Y(jié)在一起。一般采用ZrO2、Bi2O3、CeO等作為燒結(jié)添加劑,能夠獲得密度為理論值的93%~98%的靶材,這種方式形成的ITO薄膜的性能與添加劑的關(guān)系極大。根據(jù)電解質(zhì)的種類可分為氯化物熔鹽體系和氟化物-氧化物熔鹽體系電解法,多用于制取以鑭為主的混合稀土金屬以及鑭、鐠、釹等單一稀土金屬。日本的科學(xué)家采用Bizo作為添加劑,Bi2O3在820Cr熔化,在l500℃的燒結(jié)溫度超出部分已經(jīng)揮發(fā),這樣能夠在液相燒結(jié)條件下得到比較純的ITO靶材。而且所需要的氧化物原料也不一定是納米顆粒,這樣可以簡(jiǎn)化前期的工序。
濺射靶材的要求較傳統(tǒng)材料行業(yè)高,一般要求如,尺寸、平整度、純度、各項(xiàng)雜質(zhì)含量、密度、N/O/C/S、晶粒尺寸與缺陷控制;較高要求或特殊要求包含:表面粗糙度、電阻值、晶粒尺寸均勻性、成份與組織均勻性、異物(氧化物)含量與尺寸、導(dǎo)磁率、超高密度與超細(xì)晶粒等等。磁控濺射鍍膜是一種新型的物相鍍膜方式,就是用電子槍系統(tǒng)把電子發(fā)射并聚焦在被鍍的材料上,使其被濺射出來(lái)的原子遵循動(dòng)量轉(zhuǎn)換原理以較高的動(dòng)能脫離材料飛向基片淀積成膜。這種被鍍的材料就叫濺射靶材。然而在傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)不斷的創(chuàng)新和轉(zhuǎn)型中,貴金屬依然成為選擇的關(guān)鍵性材料,用更先進(jìn)和更科學(xué)的工藝和手段,把貴金屬的獨(dú)特性能發(fā)揮得更淋漓盡致。 濺射靶材有金屬,合金,陶瓷化合物等。
人類社會(huì)的存在,科學(xué)技術(shù)的進(jìn)步和發(fā)展,已成為21世紀(jì)世界各國(guó)首要的戰(zhàn)略儲(chǔ)備物資,且與各國(guó)的政治經(jīng)濟(jì)和社會(huì)發(fā)展有著息息相關(guān)的緊密聯(lián)系,在已知的傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)和應(yīng)用領(lǐng)域中,高純材料、合金、各種深加工的制品(半成品)及化學(xué)制品,已被廣泛應(yīng)用到冶金鋼鐵,石油化工,有機(jī)化工,化工,電子電器,汽車制造,光學(xué)玻璃,玻璃纖維。為了形成高質(zhì)量圖像,聚合色粉被廣泛使用,以代替慣常使用的粉碎色粉。
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