正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預真空；有的真空泵出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。
擴散泵：以低壓高速蒸汽流（油或等蒸汽）作為工作介質(zhì)的噴射真空泵。氣體分子擴散到蒸汽射流中，被送到出口。在射流中氣體分子密度始終是很低的，這種泵適于在分子流狀態(tài)下工作?？煞譃椋孩?自凈化擴散泵：泵液中易揮發(fā)的雜質(zhì)經(jīng)專門的機械輸送到出口而不回到鍋爐中的一種油擴散泵② 分餾式擴散泵：這種泵具有分餾裝置，使蒸汽壓強較低的工作液蒸汽進入高真空工作的噴嘴，而蒸汽壓強較高的工作液蒸汽進入低真空工作的噴嘴，它是一種多級油擴散泵。
真空泵組閥片的作用：閥片其實對于真空泵機組的運行起到了很大的作用，如果閥片受損就會嚴重影響機組的正常運轉(zhuǎn)情況，所以這就需要對閥片做好定期檢查，從而確保閥片能夠長久保持良好的使用狀態(tài)。真空泵組在運行過程中會出現(xiàn)機械故障，為了預防這些可能出現(xiàn)的故障，首先保證設備的密封效果，一般會在真空泵兩端的柔性排氣孔上安裝一組閥片，閥片的作用是為了盡可能的緩解由于真空泵工作出現(xiàn)的氣壓不穩(wěn)影響到內(nèi)部壓縮作業(yè)效果的情況。
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