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真空通常由抽氣機(jī)獲得，其氣體稀薄度用真空計(jì)測(cè)量。利用分子和擴(kuò)散式氣體抽提器可以獲得大氣壓為1×10-14pa的高真空度。真空技術(shù)廣泛應(yīng)用于芯片制造、太陽能電池制造、光學(xué)薄膜制造、電真空儀器、電子管等電子儀器中。
Pfeiffer普發(fā) HiPace 1500U渦輪分子泵維修，Pfeiffer HiPace 1500U普發(fā)渦輪分子泵進(jìn)氣法蘭口DN250 ISO-F/DN250 ISO-K/DN250 CF-F，出氣法蘭口DN40 ISO-KF，抽速可達(dá)到1100L/s - 1450 L/s，轉(zhuǎn)速為37800rpm，極限壓力1X10-8 mbar，對(duì)應(yīng)的控制器為：Pfeiffer TC1200等。
干式螺旋真空泵是一種較新的阿特拉斯真空泵系列下的設(shè)備，具有可靠性高、壽命長、動(dòng)平衡性能好、適應(yīng)性強(qiáng)、多相混輸?shù)忍攸c(diǎn)。它能去除腐蝕性、有毒、含塵氣體和可冷凝蒸汽等氣體。干泵有著廣泛的應(yīng)用，包括半導(dǎo)體工業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜工業(yè)等，這三個(gè)行業(yè)的需求是推動(dòng)干式泵市場(chǎng)的主要?jiǎng)恿ΑＴ跉W美半導(dǎo)體行業(yè)，約有一半的企業(yè)采用干式真空泵代替油封式機(jī)械泵。我國半導(dǎo)體行業(yè)主要采用進(jìn)口干式泵。因此，應(yīng)加強(qiáng)國產(chǎn)干式真空泵的研發(fā)，使之成為我國真空行業(yè)新的經(jīng)濟(jì)增長點(diǎn)。
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真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子，降低真空室內(nèi)的氣體壓力，使之達(dá)到要求的真空度。概括地講從大氣到極高真空有一個(gè)很大的范圍，至今為止還沒有一種真空系統(tǒng)能覆蓋這個(gè)范圍。因此，為達(dá)到不同產(chǎn)品的工藝指標(biāo)、工作效率和設(shè)備工作壽命要求、不同的真空區(qū)段需要選擇不同的真空系統(tǒng)配置。高真空分子泵維修多少錢
Pfeiffer普發(fā)TMH261X儀用分子泵保養(yǎng),德國普發(fā)TMU261/TMH261P真空分子泵進(jìn)氣法蘭口DN100ISO-KF/DN100CF-F，出氣法蘭口DN25 ISO-KF，抽速可達(dá)到210 L/s，其轉(zhuǎn)速為60000rpm
水環(huán)泵也有其缺點(diǎn)：
效率低，一般在30%左右，較好的可達(dá)50%。
真空度低，這不僅是因?yàn)槭艿浇Y(jié)構(gòu)上的限制，更重要的是受工作液飽和蒸氣壓的限制。用水作工作液，極限壓強(qiáng)只能達(dá)到2000~4000Pa。用油作工作液，可達(dá)130Pa。
總之，由于水環(huán)泵中氣體壓縮是等溫的，故可以抽除yi燃、yi爆的氣體。由于沒有排氣閥及摩擦表面，故可以抽除帶塵埃的氣體、可凝性氣體和氣水混合物。有了這些突出的特點(diǎn)，盡管它效率低，仍然得到了廣泛的應(yīng)用。
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通常來說，一臺(tái)分子泵控制器的顯示屏閃爍可能是由于電源線路有問題，或者是由于組件出現(xiàn)故障造成的。建議在使用之前，先檢查電源線路是否有問題，如果有問題及時(shí)進(jìn)行維護(hù)；如果是組件出現(xiàn)故障，則需要檢查組件的電氣參數(shù)，根據(jù)維修應(yīng)用指導(dǎo)手冊(cè)進(jìn)行更換或調(diào)整。
泵的排氣口出現(xiàn)了冒煙的現(xiàn)象。一般來說，入口壓力低于1300Pa，如果長期在高于此壓力的狀態(tài)下運(yùn)轉(zhuǎn)，大量氣流會(huì)將油帶到真空泵過濾器上，導(dǎo)致過濾器超載冒煙的情況，因此，應(yīng)選擇適當(dāng)容量的真空泵，減少入口壓力，防止煙霧。另外，過濾器使用時(shí)間過長，過濾能力減弱，冒煙也是更換過濾器的信號(hào)。
隨著復(fù)合分子泵的不斷改進(jìn)，其應(yīng)用領(lǐng)域越來越廣，在某些抽氣系統(tǒng)上可以替代擴(kuò)散泵，縮短了系統(tǒng)的抽氣時(shí)間，并可獲得無油污染的清潔真空環(huán)境。
盡量避免低溫啟動(dòng)
油旋片真空泵一般要求環(huán)境溫度在 5 攝氏度以上，溫度過低時(shí)，潤滑油的粘度下降甚至?xí)Y(jié)沙，此時(shí)通電啟動(dòng)會(huì)造成電機(jī)燒壞、聯(lián)軸器損壞甚至轉(zhuǎn)子扭斷等嚴(yán)重的故障。
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廣州潽拓光電科技有限公司——進(jìn)口普發(fā)分子泵TPH240保養(yǎng)渦輪分子泵機(jī)組
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機(jī)械密封的故障緣故及解決：
腐蝕：機(jī)泵機(jī)械密封的腐蝕包含金屬圈腐蝕、非金屬材料環(huán)腐蝕及其輔助密封圈及觸碰位置的腐蝕。
金屬圈腐蝕：金屬圈自身不具有抗腐蝕工作能力，直接接觸到腐蝕性物質(zhì)表層會(huì)被腐蝕，前期環(huán)節(jié)會(huì)出現(xiàn)怪音、泄漏、損壞等狀況。
腐蝕會(huì)以一定的速率往內(nèi)部擴(kuò)散。出外力的作用下金屬圈會(huì)產(chǎn)應(yīng)力形變，形變后露出的一部分是腐蝕的高發(fā)區(qū)，并根據(jù)薄弱點(diǎn)慢慢危害到別的地區(qū)，從而造成機(jī)械密封泄漏。
真空泵使用保養(yǎng)方法
1、真空泵在運(yùn)行過程中的保養(yǎng)方法，真空泵軸承溫度不得高于環(huán)境溫度35℃。
2、寒冬季節(jié)真空泵保養(yǎng)方法，使用時(shí)要注意防凍，停車后，需將泵體下部放水螺塞擰開將介質(zhì)放凈。防止凍裂。
3、當(dāng)真空泵需停止使用時(shí)，要先關(guān)閉閘閥、壓力表，然后停止電機(jī)，以減少突然斷電對(duì)部的損害。
4、真空泵長期停用，需將泵全部拆開，擦干水分，將轉(zhuǎn)動(dòng)部位及結(jié)合處涂以油脂裝好，妥善保管。
5、當(dāng)真空泵重新裝配后應(yīng)進(jìn)行試運(yùn)行，一般須空運(yùn)轉(zhuǎn)2小時(shí)并換油二次，因清洗時(shí)在真空泵中會(huì)留有一定量易揮發(fā)物，待運(yùn)轉(zhuǎn)正常后，再投入正常工作。
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