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標(biāo)準(zhǔn)氣體的制造辦法很多，選擇適宜的配氣辦法在標(biāo)準(zhǔn)氣體的制造過程中至關(guān)重要。氣體的品種不同，所制造氣體的濃度不同，選擇的制造辦法也不相同。標(biāo)準(zhǔn)氣體的制造辦法大致可分為靜態(tài)配氣法和動(dòng)態(tài)配氣法兩大類。靜態(tài)配氣法 包含兩種：一種是重量法，以氣體質(zhì)量為依據(jù)，使用大型斷橋鋁合金門窗精密天平分別稱量高純組分氣體和稀釋氣體的質(zhì)量，然后定量混合而制造標(biāo)準(zhǔn)氣體的辦法。另一 種是容量法 。依據(jù)氣體方程，依照計(jì)算好的體積對(duì)多種氣體混合后加壓，再充人高壓氣瓶中。而動(dòng)態(tài)配氣法 是將必定壓力和體積的已知濃度的氣 體組分完全充人現(xiàn)已標(biāo)定體積的氣瓶中，再向其間充入非反響性、不攪擾待測(cè)組分的稀釋平衡氣體，依據(jù)氣體方程，就可以得到制造氣體中組分的濃度。它還包含擴(kuò)散法和滲透法 。
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液態(tài)氦氣可以用于制冷，許多超導(dǎo)實(shí)驗(yàn)都需要使用液態(tài)氦氣進(jìn)行降溫處理。
液態(tài)氦氣就是在極低溫度下氣態(tài)氦氣轉(zhuǎn)化而來的液態(tài)氦，簡(jiǎn)稱液氦。氦在通常情況下為無色、無味的氣體，沸點(diǎn)-268.785℃，它的沸點(diǎn)是已知物質(zhì)中低的（比氫氣還要低）。所以當(dāng)溫度在4.18K時(shí)，氣體氦氣的性質(zhì)同一般液體一樣，加以適當(dāng)?shù)膲毫娃D(zhuǎn)化為液態(tài)氦氣了。實(shí)際上液態(tài)氦氣的制作不僅僅需要低溫，要知道氦氣是沒有三相點(diǎn)的物質(zhì)，想要液態(tài)氦氣除了低溫之外，還需要一定的壓力。
液態(tài)氦氣沸點(diǎn)極低，當(dāng)溫度降至2.178K時(shí)，就轉(zhuǎn)變?yōu)橐环N粘度接近于零的具有流動(dòng)性的液氦，此時(shí)的液態(tài)氦氣被稱為超流體。
液態(tài)氦氣已實(shí)際應(yīng)用在許多晶圓處理程序步驟中，它可在高壓氣相化學(xué)沉積(HP-CVD)以及蝕刻程序上作為晶背冷卻之用，并且它也可用作為攜載氣體應(yīng)用在CVD以沉積抗反射層、氧氮化合物及其它薄膜用。
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液態(tài)氣體液壓的原理。液壓是由兩個(gè)大小不同的液缸組成的，在液缸里充滿水或油。充水的叫“水壓機(jī)”;充油的稱“油壓機(jī)”。兩個(gè)液缸里各有一個(gè)可以滑動(dòng)的活塞，如果在小活塞上加一定值的壓力，根據(jù)帕斯卡定律，小活塞將這一壓力通過液體的壓力傳遞給大活塞，將大活塞頂上去。設(shè)小活塞的橫截面積是S1，加在小活塞上的向下的壓力是F1。于是，小活塞對(duì)液體的壓強(qiáng)為P=F1/SI，能夠大小不變地被液體向各個(gè)方向傳遞”。大活塞所受到的壓強(qiáng)必然也等于P。若大活塞的橫截面積是S2，壓強(qiáng)P在大活塞上所產(chǎn)生的向上的壓力F2=PxS2，截面積是小活塞橫截面積的倍數(shù)。從上式知，在小活塞上加一較小的力，則在大活塞上會(huì)得到很大的力，為此用液壓機(jī)來壓制膠合板、榨油、提取重物、鍛壓鋼材等。
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由于標(biāo)準(zhǔn)氣都要經(jīng)過減壓器和管線后才能取樣，要準(zhǔn)確取樣必須將減壓器和管線進(jìn)行充分的置換，這種置換不是簡(jiǎn)單意義上的吹掃，目前我們基本上都選用帶壓力表的減壓器，特別是壓力表里的死體積非常大，因此需要不斷將鋼瓶閥打開關(guān)閉反復(fù)3次以上，每次將減壓器里的氣體排盡，然后再吹掃系統(tǒng)才能正確取樣。帶壓力表的減壓器置換起來很麻煩，如果不會(huì)正確置換這種減壓器，不但會(huì)浪費(fèi)很多氣體，而且會(huì)對(duì)分析帶來很大的誤差，尤其對(duì)于微量氧、氮的分析，因此我們建議標(biāo)準(zhǔn)氣體的分析檢測(cè)用閥門采用不帶減壓器的針形微調(diào)閥。
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以上信息由專業(yè)從事高純標(biāo)準(zhǔn)氣體報(bào)價(jià)的交城永固氣體于2024/12/22 7:05:05發(fā)布
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