為保持潔凈區(qū)域的空氣潔凈度和正壓，潔凈區(qū)域的入口處可設(shè)置氣閘室或空氣吹淋室。氣閘室的出入門應(yīng)有防止同時(shí)打開的措施。設(shè)置單人空氣吹淋室時(shí)，宜按da班人數(shù)每30人設(shè)一臺(tái)。潔凈區(qū)域工作人員超過5人時(shí)，空氣吹淋室一側(cè)應(yīng)設(shè)旁通門。
公司擁有一支高素質(zhì)的工程設(shè)計(jì)、安裝和技術(shù)監(jiān)督隊(duì)伍，每項(xiàng)工程從設(shè)計(jì)到施工都緊密配合，嚴(yán)格把握工程的質(zhì)量關(guān)，設(shè)計(jì)承接不同類型，不同規(guī)模，不同凈化級(jí)別的工業(yè)廠房?jī)艋到y(tǒng)。
無(wú)塵潔凈棚又名凈化潔凈棚、百級(jí)潔凈棚、千級(jí)潔凈棚、萬(wàn)級(jí)潔凈棚，為在亂流式之無(wú)塵車間空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用獨(dú)立之HEPA或 ULPA及空調(diào)送風(fēng)機(jī)組而成為較好潔凈空間，內(nèi)部空間高度在2.0米左右，覆蓋面積約50m2以下，四支支柱可加裝活動(dòng)輪，可為彈性運(yùn)用，可配套風(fēng)淋室使用。
無(wú)塵潔凈棚材料：無(wú)塵潔凈棚的框架一般有：不銹鋼方通，鐵方通，鋁型材三種。無(wú)塵潔凈棚頂部材料一般有：不銹鋼板，冷軋鋼板噴塑，防靜電網(wǎng)格圍簾，(防靜電)亞克力板三種。潔凈送風(fēng)部分，一般選擇FFU層流罩(FFU層流送風(fēng)單元)無(wú)塵潔凈棚的圍護(hù)材料一般包括：防靜電圍簾，(防靜電)亞克力板兩種。
潔凈室中的溫濕度控制：
潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來(lái)確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越嚴(yán)的趨勢(shì)。
具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來(lái)越精細(xì)，所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院螅瑢?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過25度。
濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對(duì)濕度超過55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對(duì)濕度越高,粘附的難去掉，但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)蕞佳溫度范圍為35—45%。
凈化車間溫度、濕度的測(cè)試方法：
1、GMP凈化車間溫度的測(cè)試：應(yīng)將潔凈工作區(qū)劃分為等面積的柵格，每個(gè)分格面積不超過100平方米或與建設(shè)方協(xié)商確定，每格測(cè)點(diǎn)1個(gè)以上，每個(gè)房間測(cè)點(diǎn)至少2個(gè)。測(cè)試高度應(yīng)為工作面高度，距的吊頂、墻面和地面不小于300MM，并應(yīng)考慮熱源等的影響，測(cè)量時(shí)間應(yīng)至少1H，并至少6min測(cè)量一次，讀數(shù)穩(wěn)定后做好記錄。凈化車間一般溫度測(cè)試的測(cè)點(diǎn)，每個(gè)溫度控制區(qū)或每個(gè)房間1個(gè)測(cè)點(diǎn)，測(cè)試點(diǎn)高度宜為工作面高度，測(cè)量時(shí)間應(yīng)至少1H，并至少6min測(cè)量一次，讀數(shù)穩(wěn)定后做好記錄。
2、凈化車間濕度的測(cè)試：濕度測(cè)試可采用通風(fēng)干濕球濕度計(jì)、電容式濕度計(jì)、數(shù)字式濕度計(jì)、毛發(fā)式濕度儀器。相對(duì)濕度測(cè)試的測(cè)點(diǎn)、測(cè)試頻度和時(shí)間與溫度測(cè)試時(shí)間相同，宜一同測(cè)試。
藥廠凈化車間空調(diào)處理機(jī)組包括新風(fēng)段、回風(fēng)段、混合段、初效段、表冷段、加熱加濕段、風(fēng)機(jī)段、中效段、送風(fēng)段等，經(jīng)風(fēng)管分配到末端過濾器，再將潔凈、溫濕度適宜的風(fēng)送到各房間，因此，風(fēng)機(jī)盤管和空調(diào)機(jī)組的節(jié)能在整個(gè)中央空調(diào)系統(tǒng)節(jié)能效能中也很重要。其中，初效、中效和過濾器應(yīng)選擇風(fēng)阻小、過濾效果高的濾材和產(chǎn)品;表冷和換熱器盤管的材質(zhì)一般選用傳熱的薄壁銅管，采用的親水翅片以提高系統(tǒng)設(shè)備的傳熱效率;選用保溫效果好的保溫材料等。這些都是切實(shí)可行的藥廠凈化車間節(jié)能方法。
以上信息由專業(yè)從事百級(jí)凈化廠房安裝的晴朗凈化于2025/3/6 7:56:31發(fā)布
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