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不同的真空系統(tǒng)要求的真空度不同。因此往往必須由一套真空機組來完成,即由工作在不同壓力范圍的真空泵串接起來。高真空一側(cè)的真空泵能達到系統(tǒng)要求的真空度,而低真空一側(cè)的真空泵是直排大氣的。顯然*簡單的真空機組就是一臺直排大氣的真空泵。但高真空系統(tǒng)一般需要三級機組,中真空一般需要二級機組。高真空分子泵維修廠家
真空是指氣體壓力小于大氣壓力的狀態(tài)。真空度用帕斯卡(Pa)或托(Torr)來表示。在某些應(yīng)用中,需要制造非常低的真空。例如,在電子學(xué)中,需要多個級別的真空來生產(chǎn)半導(dǎo)體器件。真空主要通過真空泵來制造和維持。高真空分子泵維修廠家
一般真空泵設(shè)備的操作都比較簡單,大多正常生產(chǎn)過程中都不需要過多的人為操作,操作人員如果發(fā)現(xiàn)真空泵有異常狀況,為防止發(fā)生事故,應(yīng)立即切斷電源,及時報修。使用過程中,應(yīng)避免日光直射,遠離熱源體。日常工作中應(yīng)做到每日點檢保養(yǎng)設(shè)備,保持無灰塵、無雜物,防止雜物進入泵內(nèi)。高真空分子泵維修廠家
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真空機組一般根據(jù)主泵的類型來命名,然后可根據(jù)產(chǎn)品特點來進行分類,如含油真空機組與無油真空機組;更常見的是按真空應(yīng)用范圍來,可分為低真空機組、中真空泵機組、高真空機組及超高真空機組。真空泵維修維護
真空泵為什么會出現(xiàn)高溫?
電機功率大,工作電流大,導(dǎo)致真空泵高溫。風(fēng)扇葉片數(shù)較少,產(chǎn)生的風(fēng)量小。風(fēng)扇轉(zhuǎn)速低,風(fēng)壓,風(fēng)量小。真空泵電機所在母線電壓為380V,由于電纜壓降及負(fù)荷分配不均,電機實際所加電壓只有365V,電壓偏低造成運行電流大。電動機附有灰塵、油污,降低了散熱能力,導(dǎo)致真空泵高溫。等等都會導(dǎo)致真空泵出現(xiàn)高溫情況。真空泵維修維護
旋片式真空泵冒煙和噴油:指旋片式真空泵在運轉(zhuǎn)中排氣口冒煙或者噴油。真空泵維修維護
1、冒煙,如果是泵剛剛開始運轉(zhuǎn)有冒煙的現(xiàn)象,屬于正常,如果長時間在冒煙就是不正常了。解決之道:冒煙說明泵的進氣口外,包括管道、閥門、容器有修理的情況。檢漏以后處理了,冒煙會結(jié)束。渦街流量計
2、噴油,說明進氣口外有大量的漏點,甚至是進氣kou暴露大氣。解決之道:封住泵的進氣口使泵運轉(zhuǎn),如果不噴油的話,說明有漏點;排氣閥片損壞,檢查排氣閥片是否損壞,更換壞的排氣閥片。真空泵維修維護
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分子泵轉(zhuǎn)速過高,軸承磨損。這種情況主要集中在轉(zhuǎn)矩和軸承兩個部件上。轉(zhuǎn)矩和軸承兩個部件不穩(wěn)定。這種情況主要集中在軸承磨損。分析原因有1)油棉變黑了,發(fā)黃,轉(zhuǎn)速限定解決方法用電腦檢測分子泵運行狀態(tài),可以判斷出油棉變黑了。上海維修真空泵
對真空設(shè)備而言,非接觸懸浮是很有吸引力的。電磁軸承應(yīng)用于渦輪分子泵,可實現(xiàn)分子泵的無油、無磨損運行,運行安靜,振動ji小,尤其適合半導(dǎo)體工業(yè)等超凈高真空應(yīng)用場合。上海維修真空泵
還有一種冒煙的原因就是,真空泵在使用了一定的時間后,由于沒有對泵做好日常的維護保養(yǎng)工作,使得排氣口處冒出了油煙。這其實是真空泵的排氣過濾器失效了,要知道的是,真空泵排氣過濾器,是一個屬于耗材料類配件,在真空泵里面起到油氣分離作用,可以防止真空泵油隨著尾氣排出真空泵泵體。把過濾下來的真空泵油沉淀下來回流到油箱里,當(dāng)排氣過濾器失效時,排氣過濾器就起不到過濾作用。上海維修真空泵
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開機前,應(yīng)向抽氣口寫入少量的真空泵油,使真空泵內(nèi)得到充沛光滑。(真空泵維修廠家表明重新安裝的真空泵應(yīng)進行幾個小時的工作實驗,以調(diào)查是不是到達運用請求)分子泵維修中心
而在1.3Pa時,分子結(jié)構(gòu)間平均自由程達到4.4mm。若平均自由程提升到超過器皿壁間的間距時,汽體分子結(jié)構(gòu)與器壁的撞擊機遇將超過汽體分子結(jié)構(gòu)中間的撞擊機遇。在分子結(jié)構(gòu)流范疇內(nèi),汽體分子結(jié)構(gòu)的平均自由程長短遠高于分子泵葉片中間的間隔。當(dāng)器壁由沒動的電機定子葉片與健身運動著的轉(zhuǎn)子葉片構(gòu)成時,汽體分子結(jié)構(gòu)便會較多地射向轉(zhuǎn)子和電機定子葉片,為產(chǎn)生汽體分子結(jié)構(gòu)的定向運動奠定基礎(chǔ)。分子泵維修中心
泵振動或異常聲響振動頻率為0~40%工作轉(zhuǎn)速。過大的軸承間隙,軸瓦松動,油內(nèi)有雜質(zhì),油質(zhì)(粘度、溫度)不良,因空氣或工藝液體使油起泡,潤滑不良,軸承損壞處理方法:檢查后,采取相應(yīng)措施,如調(diào)整軸承間隙,清除油中雜質(zhì),更換新油;分子泵維修中心
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