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特種氣體
氣體工業(yè)名詞，是指那些在特定領(lǐng)域中應(yīng)用的，對氣體有特殊要求的純氣，高純氣或由高純單質(zhì)氣體配制的二元或多元混合氣。
特種氣體(Specialtygases)門類繁多，通?？蓞^(qū)分為電子氣體，標(biāo)準(zhǔn)氣，環(huán)保氣，氣，焊接氣，殺菌氣等，廣泛用于電子，電力，石油化工，采i礦，鋼鐵，有色金屬冶煉，熱力工程，生化，環(huán)境監(jiān)測，醫(yī)學(xué)研究及診斷，食品保鮮等領(lǐng)域。
軍i工氦氣，超導(dǎo)氦氣，氦氣在國i防軍i工領(lǐng)域是一個重要的戰(zhàn)略性物資。下一代超導(dǎo)技術(shù)應(yīng)用到哪，液態(tài)的氦氣資源就要應(yīng)用到哪。不僅如此，還有電磁彈射器，電磁軌道炮等等產(chǎn)品都要應(yīng)用氦氣資源。
作為惰性氣體，對于現(xiàn)在常用的相控陣?yán)走_(dá)天線單元內(nèi)很多充填的都是氦氣，其作用是為了保護(hù)這些敏感的電子元器件的介質(zhì)，甚至連大密度存貯用的硬盤里填充的也是氦氣。氦氣還是焊接必備的氣體，尤其是焊接純鋁或者鋁合金必須用氦氣+Ar的混合氣才能保證焊縫完整，一般都是應(yīng)用在我們常見的軍艦還有民用的高鐵。而且未來激光武i器也在使用氦氣作為保護(hù)氣等等。
氣體產(chǎn)品大至可以分為兩大類別，即一般工業(yè)氣體和特種氣體。一般工業(yè)氣體是指經(jīng)過空氣分離設(shè)備制造的普通級的氧氣和氮?dú)?、?jīng)過焦?fàn)t氣分離或電解等方法制造出來的普通純度的其它種類氣體。工業(yè)氣體一般要求生產(chǎn)量大，但對氣體的純度要求不高。特種氣體則是用途有別于一般氣體的氣體。它在純度、品種、性能等方面都是嚴(yán)格按照一定規(guī)格進(jìn)行生產(chǎn)和使用的。特種氣體因種類 很多，又可以分為三類，即高純氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣體和電子特種氣體。
1、高純氣體
高純氣體通常指利用現(xiàn)代提純技術(shù)能制取的某個純度等級的氣體，純度等級可以不同。
2、一般混合氣體
由兩種以上氣體混臺配制而成的氣體，而且主要標(biāo)出大致濃度，即可滿足使用要求，這種氣體稱為一般混合氣體。
其中主要應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路的消費(fèi)制造。在半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用的有110余種單元特種氣體，其中常用的有20~30種。在集成電路制造應(yīng)用方面詳細(xì)包括集成電路芯片制程、化學(xué)氣相堆積和氣體應(yīng)用、刻蝕和氣體應(yīng)用、摻雜和氣體應(yīng)用。
在太陽能電池應(yīng)用方面詳細(xì)包括太陽能電池的應(yīng)用、晶體硅太陽能電池消費(fèi)工藝和氣體應(yīng)用、薄膜太陽能電池消費(fèi)工藝和氣體應(yīng)用；在化合物半導(dǎo)體應(yīng)用方面詳細(xì)包括化合物半導(dǎo)體的應(yīng)用、MOCVD/LED消費(fèi)工藝和氣體應(yīng)用。
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